无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用 FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定,净化工程,随洁净室用途等具体情况而异,彩钢板净化工程,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。
净化工程乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。所谓乱流洁净室,大连净化工程,一般包括以下各种送风形式(1)高效过滤器**送(有扩散板和无扩散板)(2)流线型散流器**送(3)局部孔板**送(4) 侧送。升旭净化工程公司的此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。 层流式,层流式空气气流运动成一平均之直线型,空气由笼盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。